類(lèi)的旋片式真空泵通常有著較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽氣速率,。如同作用于前級(jí)泵上用于提其高抽速和真空度的加速器,。真空泵內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)件無(wú)摩擦，不必潤(rùn)滑,，泵腔內(nèi)無(wú)油,，可獲得清潔真空。真空泵泵腔內(nèi)氣體垂直流動(dòng),，有利于被抽氣體中的灰塵與冷凝物的排除,。真空泵對(duì)稱(chēng)且精密動(dòng)平衡的轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，可靠,。結(jié)構(gòu)緊湊,，設(shè)計(jì)有垂直與水平兩個(gè)排氣口，安裝方便,。機(jī)械磨擦損失小,，故驅(qū)動(dòng)功率小。