無油真空泵是屬于容積泵,，它的葉輪在泵腔內(nèi)是偏心安裝，當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí),，會(huì)迫使泵腔內(nèi)形成一個(gè)等厚的旋轉(zhuǎn)液環(huán),，于是在兩個(gè)相鄰葉片、葉輪和液環(huán)內(nèi)表面之間形成一個(gè)“氣腔”,，隨著葉輪旋轉(zhuǎn),，氣腔在泵的吸氣區(qū)的體積逐漸增大，其內(nèi)部壓力下降,，從而將氣體吸入泵內(nèi),，相反，氣腔在排氣區(qū)的體積則逐漸變小,，其內(nèi)部壓力上升,，從而將氣體排出。而且,，無油真空泵的壓力是受到密封液蒸氣壓限制的,。